目前洁净室对送入空气的洁净方法，最重要和使用***的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气，主要是靠送风系统的各个部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
下面将对洁净室污染控制领域中比较新颖的技术方案进行介绍：
（1）用传统的喷水室湿法处理空气来处理新风中的化学物质。近几年来日本开展了很多***了其有效性。日本三机工业公司利用纯水及自来水对气体的喷水处理进行了比较研究，认为自来水比纯水的净化率更高，这是由于水中离子等的影响。
（2）有杀菌作用的HEPA过滤器(杀菌酵素过滤嚣)。过去采用金属离子的毒性来杀菌，如银型阳高于交换纤维制成的空气过滤器(IEE—Ag)，现今可采用从生物体中提取的天然酵素(固定在纤维纸上，达到分子级的结合水平)将细菌的细胞壁溶解以达到杀菌的目的，是一种安全的灭菌措施，它防止了过滤器上微生物增殖所产生的二次污染。
（3）UV光电子空气净化方法。这种方法不同于普通的静电过滤器，该方法利用将紫外线照射在金属膜层上产生光电效应，在空气中产生电子和负离子使流经的污染物质荷电并被集尘极捕集(图1所示)。目前在有限的小空间范围内已有应用。
